DSX-KYUV30 Lågtemperatur UV Masking Instant Super Curing Lim Semiautomatisk UV LED exponeringsmaskin

DSX-KYUV30 Lågtemperatur UV Masking Instant Super Curing Lim Semiautomatic UV LED exponeringsmaskin

Exponerings- och maskeringssystemet är det första UV-LED-maskeringssystemet tillgängligt på den internationella marknaden. De UV LED-maskeringssystem är ett kompakt exponeringsmaskeringssystem utrustat med ett LED-baserat optiskt huvud, kollimerat och homogent.

Dess maskeringsfunktion gör det möjligt att nå upplösningar mindre än 2 μm. Det är ett nytt sätt att maskera, LED-generering, oöverträffad kollimationsprestanda.

Funktioner av DSX-KYUV30 UV LED Masking System :

1.Zero underhållskostnad. Det behöver inte bytas ut ljuskällans delar för långtidsarbete.

2. Long life design. Det kan fortsätta att fungera 20000 timmar.

3. Låg bestrålningstemperatur

4.Single band UV

5. Ingen skada på mänsklig strålningsljus

6.Touch skärmgränssnitt, parameter modifiering, automatisk datasparande, enkel och pålitlig drift.

7.Det inbyggda kylsystemet säkerställer långvarig normal drift.

8. Kontrollera med ljusintensitetskorrigeringskontrollkretsen att ljusets likformighet är jämn.

9.Basera upp bestrålning, bekvämt för waferplacering.

Parametrar av Bästa UV LED exponeringssystem för fotolitografi :

Hur fotolithografiska systemet fungerar

Photolithography Systemet fungerar genom att exponera fotoresistskiktet på plattan till intensivt monokromatiskt UV-ljus. Detta enhetliga, 365 nm UV-ljus släpps ut av maskinen nedåt i en nästan parallell riktning. En mönstrad maskeringsdia är placerad över plattan. Detta blockerar UV-ljuset från att nå fotoresistskiktet i önskat mönster. I vårt fall, eftersom vi använder en positiv fotoresist, bryter exponeringen mot UV-ljuset det stillbildade fotoresistskiktet och låter det avlägsnas av utvecklaren i ett senare steg.

Introduktion av Bästa UV-exponering för Wafer :

UV-exponerings- och maskeringssystemet är att använda UV-LED-kallt ljuskälla. Wafer UV exponeringsmaskin ger standarden 365nm UV. Samtidigt, enligt användarens krav, erbjuder UV-exponeringsmaskinen 385 nm, 395 nm och 405 nm UV-ljuskälla, lämpar sig för optisk, biologisk teknik, mikroelektronik, waferbindning, härdning, en mängd olika applikationer, såsom cellodling, används ofta i UV-exponering.

Denna uppsättning UV LED-exponering antar den ledande LED-ljuskällatekniken, fullt ut inser UV-köldljuskällans belysning, eliminerar effektivt den termiska effekten och är mycket lämplig för användning av ultraviolett exponering i laboratoriet eller ultralätt rummet.

Wafers UV-exponeringssystem är kompakt i konstruktion, lätt att flytta, med användning av pekskärmskontroll, fullständig effektiv och säker kontroll av UV-maskeringsrum.

LED UV-ljuskälla för UV-mask exponeringsmaskin har en livslängd på upp till 10 000 timmar, vilket är mycket pålitligt och slitstarkt, behöver inte daglig underhåll och är mycket praktiskt att använda.